上海矽锐电子科技有限公司
Shanghai Keenness Electronic Technology Co.,Ltd.

技术服务

  • Ultra-tech stepper维修服务

  • 半导体设备零件及模组的维修及翻新

       主要涉及:Ultra-Tech\Nikon Stepper ,ACT8, KLA


  • 控制器,电路板及触摸屏的维修

  • 冷泵( Cryo pump)翻新
    •    美国Austin 冷泵系列:
            Cryo-Plex 8LP (low profile) 低温泵: 业应用于半导体生产设备
            Cryo-Plex 8 低温泵: 8英寸低温泵,提供洁净、无油的高真空环境
            Cryo-Plex 16 低温泵: 16寸低温泵,应用于大型真空室
            Cryo-Plex 10 低温泵: 10英寸低温泵,高效设计
    •    CTI冷泵系列:
            On-Board Cryo-Pumps Model :OB8 OB8F OB400 OB10
            Cryo-Torr Cryo-pumps Model :OB8 OB8F OB10
            On-Board Cryo-Water pumps Model

  • 真空阀 翻新


  •    

  • 机械手及控制器 翻新

  •    Genmark / MECS / Rorze / PRI / Equipe / Brooks 等

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